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반도체 칩에서 표적 물질의 역할

2023-05-06

반도체 칩에서 타겟의 역할은 주로 다음과 같은 측면을 포함합니다.


1. 자료 제공

타겟 소재는 반도체 칩 제조 공정에서 사용되는 원재료 중 하나로 박막을 만드는데 필요한 소재를 제공한다. 금속, 산화물, 질화물, 탄화물 등 다양한 유형의 타겟 재료가 있습니다. 다른 타겟 재료를 사용하여 다른 박막을 준비할 수 있으므로 반도체 칩의 다양화를 달성할 수 있습니다.


2. 필름의 두께 조절


대상물질은 물리적 또는 화학적 방법을 통해 물질을 박막으로 변환시켜 박막의 두께를 조절할 수 있다. 박막의 두께는 반도체 칩의 성능에 큰 영향을 미칩니다. 따라서 박막의 두께를 제어하는 ​​것은 반도체 칩 제조 공정의 핵심 단계 중 하나입니다.

3. 필름 개선품질
타겟 물질로부터 제조된 박막은 고품질이며 반도체 칩의 성능을 향상시킬 수 있다. 대상 물질로부터 제조된 박막은 순도와 균일도가 높아 반도체 칩의 결함과 불순물을 감소시킬 수 있어 반도체 칩의 신뢰성과 안정성을 향상시킬 수 있다.

4. 다층 박막 증착 구현


대상 물질은 다층 박막의 증착을 달성하여 반도체 칩의 다층 구조를 달성할 수 있습니다. 다층 구조는 저장 용량을 늘리고 계산 속도를 가속화하는 등 반도체 칩의 기능과 성능을 향상시킬 수 있습니다.

타겟 소재는 반도체 칩 제조 공정에서 중요한 역할을 합니다. 박막 제조에 필요한 재료를 제공할 뿐만 아니라 막 두께 제어, 막 품질 향상 및 다층 성막을 가능하게 합니다. 반도체 칩의 지속적인 발전에 따라 대상 물질의 종류와 제조 기술도 지속적으로 혁신 및 개선되고 있어 반도체 칩의 발전에 든든한 버팀목이 되고 있습니다.