제품
실리콘 로터리 스퍼터링 타겟
Senxiang (Ningbo) New Materials Co., Ltd.는 SiO2 및 SiN 유전체층을 도금하는 반응 시스템에 주로 사용되는 중요한 스퍼터링 타겟 재료 인 실리콘을 중요한 기능성 박막 재료로 제공하며 경도가 우수합니다. , 광학 및 유전 특성 및 내마모성, 내 부식성 및 기타 특성은 광학, 마이크로 전자 공학 및 기타 분야에서 광범위한 응용 가능성을 가지고 있으며 기능성 재료는 널리 국제적인 관심을 받고 있습니다. 실리콘 회전식 스퍼터링 타겟은 짙은 회색입니다.
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제품 설명
실리콘 회전식 스퍼터링 타겟은 짙은 회색입니다. 실리콘은 상온에서 고체이며 융점은 1414°C(2577°F)이고 비등점은 3265°C(5909°F)입니다. 물과 마찬가지로 대부분의 다른 물질과 달리 액체의 밀도는 고체의 밀도보다 높으며 얼면 팽창합니다. 실리콘은 149W ⢠m-1 ⢠K-1의 높은 열전도율과 우수한 열전도율을 가지고 있습니다. 실리콘 회전식 스퍼터링 타겟은 SiO2 및 SiN과 같은 유전층을 증착하기 위해 반응성 마그네트론 스퍼터링에 주로 사용됩니다. 중요한 기능성 필름 소재로서 우수한 경도, 광학적 특성, 유전 특성 및 내마모성을 가지고 있습니다. 실리콘 타겟의 내식성은 광학 및 마이크로 전자 공학 분야에서 광범위한 응용 전망을 가지고 있으며 현재 전 세계적으로 기능성 재료로 널리 사용되고 있습니다. 현재 LCD 투명 전도성 유리, LOW-E 유리 및 마이크로 전자 산업을 구축하는 데 주로 사용됩니다. 실리콘 회전식 스퍼터링 타겟은 단결정과 다결정의 두 가지 유형으로 나눌 수 있습니다. 초크랄스키 결정 성장법으로 실리콘 회전식 스퍼터링 타겟을 생산합니다.
제품 매개변수(사양)
| 구성 | 시 |
| 청정 | > 99.99% |
| 밀도 ï¼g/cm³ï¼ | ≤2.2 |
| 전기 저항 (Ω.cm) |
≥40 |
| 이론 밀도(g/cm3) | 2.32 |
| 금속 불순물 (ppm) |
Feâ¤60, Al¤30, Ca¤10, Totalâ¤100 |
| 치수(mm) | 최대 외경 151 최대 길이 4000 |
제품 기능 및 응용
실리콘 회전식 스퍼터링 타겟은 주로 반도체 칩, 평판 액정 디스플레이(LCD), 장식 및 기능성 코팅 산업, 태양광 패널, 데이터 저장 산업(광 디스크 산업), 광통신 산업, 유리 코팅(건축용 유리 및 자동차)에 사용됩니다. 유리) 산업, 부식 및 내마모성(표면 개질) 및 기타 분야.
제품 세부 정보
당사의 실리콘 로터리 스퍼터 타겟은 효율적인 식별 및 품질 관리를 보장하기 위해 외부에 명확하게 태그 및 라벨이 지정되어 있습니다. 보관 또는 운송 중에 발생할 수 있는 손상을 방지하기 위해 세심한 주의를 기울입니다. 본딩 서비스를 제공할 수 있습니다.
